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CAX系列X-Y精密平台选用高强度铝合金，经应力消除处理后再经摄氏196度之超深冷处理，可长期使用仍
保有良好之精密度。工作台内部和进给机构装有5年或20000公里免维护的精密级直线导轨和C3级滚珠丝杠，既
保持了原来的性能又实现了长期免维护。实现了稳定的高行走精度、定位精度和大搭载质量，该结构承受力矩
及复合负荷较强。采用AC400W伺服马达，全闭环控制实现了极高精度的定位工作台。X-Y轴的平台220mm有效行
程为8吋晶元设计。
型号表示：
CAX15R220-Y220P10-S1-M
（1）CAX15：CAX平台底座宽度150mm；
（2
）R220：X轴有效行程220mm；
（3）Y220：Y轴有效行程220mm；
（4）10：滚珠丝杆的导程分为5mm和10mm；
（5）S1：SX671型极限开关，S2：SX674型极限开关；
（6）M：AC400W伺服马达；可客制化。
用户可根据
不同的工作环境选择产品氧化后染黑处理、本色阳极氧化、硬质氧化、彩色氧化、喷砂氧化、钝化、化学镀镍
等表面处理方式。特殊要求可达到B.S.5599(1978)英国标准、AMS2469C 太空材料规格及MIL-A-8625E
TYPE Ⅲ军事规格等材质。
